一种适用于高功率密度紫外激光的连续变倍扩束镜

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113376844 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110638524.3 (22)申请日 2021.06.08 (71)申请人 富通尼激光科技（东莞）有限公司 地址 523000 广东省东莞市东莞松山湖高 新技术产业开发区工业东路12号办公 楼4-6层 (72)发明人 尹雨松　刘学松　王世波　陶锐　 周晓海　黄巧　杨焕鹏　刘明明　 (74)专利代理机构 北京盛凡智荣知识产权代理 有限公司 11616 代理人 刘迎鸣 (51)Int.Cl. G02B 27/09 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种适用于高功率密度紫外激光的连续变 倍扩束镜 (57)摘要 本发明公开了一种适用于高功率密度紫外 激光的连续变倍扩束镜，包括沿激光入射方向的 光轴上依次排列的第一透镜、第二透镜和第三透 镜；其中，所述第一透镜和第二透镜为平凹透镜， 且凹面都朝向激光入射方向；所述第三透镜为平 凸透镜，凸面朝向激光出射方向，本申请中扩束 镜专为入射光斑直径尺寸小于1mm设计，激光器 内部三倍频晶体之后的紫外激光的光路上不需 额外的扩束机制；所述第一透镜和第二透镜都是 曲率半径较小的平凹透镜且凹面全部朝向激光 入射方向，既可以使入射的高功率密度紫外激光 A 束快速发散，完全没有会聚作用，从而有效保护 4 第二透镜，也避免