准分子激光器的快门互锁方法及装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113872585 A (43)申请公布日 2021.12.31 (21)申请号 202010612923.8 (22)申请日 2020.06.30 (71)申请人 北京科益虹源光电技术有限公司 地址 100000 北京市大兴区经济技术开发 区经海四路156号10号楼二层201 (72)发明人 廖密　冯泽斌　张华　张琴　王香　 黄立杰　马天龙　沙鹏飞　 (74)专利代理机构 深圳市科进知识产权代理事 务所(普通合伙) 44316 代理人 魏毅宏 (51)Int.Cl. H03K 19/003 (2006.01) H03K 19/20 (2006.01) H01S 3/03 (2006.01) H01S 3/10 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 准分子激光器的快门互锁方法及装置 (57)摘要 本发明涉及准分子激光器领域，具体涉及一 种用于准分子激光器的快门互锁方法及装置。该 方法及装置当快门不能在规定的时间完成开或 者关的操作时，获取快门的开到位信号及关到位 信号，将开到位信号及关到位信号转换成数字信 号进行同或门逻辑运算，逻辑运算后的信号与定 时脉冲信号进行与门运算，得到互锁信号，最终 互锁信号由专门的互锁模块进行信息采集并传 送给上位机，最后根据互锁信息控制整个准分子 激光器的电源，从而可以保障激光器的