一种多阶横模抑制的声表面波换能器及制造方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113193849 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110498780.7 (22)申请日 2021.05.08 (71)申请人 江苏卓胜微电子股份有限公司 地址 214072 江苏省无锡市滨湖区建筑西 路777号A3幢11层 (72)发明人 姚远　 (74)专利代理机构 重庆双马智翔专利代理事务 所(普通合伙) 50241 代理人 顾晓玲　陈香兰 (51)Int.Cl. H03H 9/64 (2006.01) H03H 3/02 (2006.01) 权利要求书3页 说明书10页 附图7页 (54)发明名称 一种多阶横模抑制的声表面波换能器及制 造方法 (57)摘要 本发明公开了一种多阶横模抑制的声表面 波换能器及制造方法，声表面波换能器包括从下 到上依次设置的晶圆基底、叉指金属层和温补 层；还包括负载层，负载层采用如下结构之一或 组合；结构一：负载层设置于温补层上或温补层 中，负载层不与叉指金属层接触，负载层覆盖叉 指金属层中的全部或部分指条端头；结构二：负 载层在晶圆基底内，负载层位于叉指金属层的指 条端头位置对应处，负载层为导电材料；结构三： 负载层位于叉指金属层和温补层之间，负载层覆 盖叉指金属层中的全部或部分指条端头，负载层 A 采用非金属材料制成。对指条端头区域进行处理 9 阻断横向模，提高电性能指标和品质Q值；结构一 4 8 3 负载层通过温补层