一种微纳金属三维结构的加工仪器

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112441554 A (43)申请公布日 2021.03.05 (21)申请号 201910814031.3 (22)申请日 2019.08.30 (71)申请人 中国科学院微电子研究所 地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 (72)发明人 王欢　解婧　李超波　邢建鹏　 刘丽花　 (74)专利代理机构 北京华沛德权律师事务所 11302 代理人 房德权 (51)Int.Cl. B81C 1/00(2006.01) B81B 7/04(2006.01) B81C 99/00(2010.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图1页 (54)发明名称 一种微纳金属三维结构的加工仪器 (57)摘要 本发明涉及一种微纳金属三维结构的加工 仪器，包括：本体，本体包括容置腔；原料及靶材 装配模块，设置在容置腔的一端，贯穿容置腔内 外，用于提供原料以及靶材；制备金属结构层模 块，制备金属结构层模块设置于容置腔的底端， 具体包括：光敏材料形成模块、固化处理模块、去 除模块、第一金属形成模块、第二金属形成模块， 制备金属结构层模块用于形成N层金属结构层， 每层金属结构层具体包括图形化的第一金属层 和第二金属层，第一金属层与第二金属层的材料 不同；牺牲金属释放模块，牺牲金属释放模块用 于去除每层金属结构层