一种MEMS开关及其制作方法2024

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110171799 A (43)申请公布日 2019.08.27 (21)申请号 201910455171.6 (22)申请日 2019.05.29 (71)申请人 苏州知芯传感技术有限公司 地址 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡 湖大道99号苏州纳米城中北区23幢 214室 (72)发明人 陈巧　 (74)专利代理机构 南京经纬专利商标代理有限 公司 32200 代理人 田凌涛 (51)Int.Cl. B81B 7/02(2006.01) B81C 1/00(2006.01) H01P 1/10(2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种MEMS开关及其制作方法 (57)摘要 本发明涉及一种MEMS开关及其制作方法，应 用桥式结构，在驱动力作用下，使开关的中间部 分产生最大位移，进而将接触区域设计为面接 触，取消了现有技术中的点接触设计，由此避免 点接触的缺点，获得了更高的MEMS开关工作效 率，与此同时，针对所设计MEMS开关，具体设计对 应其的制作方法，采用键合工艺方案，大大减小 工艺复杂度，减小粘附，有效提高了成品率。 A 9 9 7 1 7 1 0 1 1 N C CN 110171799 A