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发明

图案化方法、光刻装置和物品制造方法

2023-07-01 07:15:41 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202111042107.9
  • 公开（公告）日：2024-09-13
  • 公开（公告）号：CN113703288A
  • 申请人：佳能株式会社
摘要：本发明公开了图案化方法、光刻装置和物品制造方法。光刻装置检测关于要在光刻装置中通过使用第一原版执行图案化的一部分压射区域布置的多个第一基板侧标记，并且检测关于要在另一光刻装置中通过使用与第一原版不同的第二原版执行图案化的与所述一部分压射区域不同的其它压射区域布置的多个第二基板侧标记。光刻装置输出关于所述多个第二基板侧标记的检测结果的信息以使得可用于其它光刻装置。然后，基于多个第一基板侧标记的检测结果，光刻装置在执行第一原版关于所述一部分压射区域的对准的同时执行图案化。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113703288 A (43)申请公布日 2021.11.26 (21)申请号 202111042107.9 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) (22)申请日 2018.08.30 G03F 1/42 (2012.01) (30)优先权数据 G03F 1/00 (2012.01) 2017-169606 2017.09.04 JP G03F 9/00 (2006.01) (62)分案原申请数据 201810998752.X 2018.08.30 (71)申请人 佳能株式会社 地址 日本东京 (72)发明人 吉冈泰智　栗田裕介　铃木徹　 岩越守孝　川田大蔵　冈積弘典　 唐木俊介　桥本隆行　 (74)专利代理机构 中国贸促会专利商标事务所 有限公司 11038 代理人 张劲松 权利要求书3页 说明书10页 附图9页 (54)发明名称 图案化方法、光刻装置和物品制造方法 (57)摘要 本发明公开了图案化方法、

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