一种化学气相沉积炉的炉底加热装置

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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218465936 U (45)授权公告日 2023.02.10 (21)申请号 202222552996.X (22)申请日 2022.09.27 (73)专利权人 苏州冠岚新材料有限公司 地址 215600 江苏省苏州市张家港市保税 区科技创业园B幢308A室 (72)发明人 奚衍罡　 (74)专利代理机构 江苏南通瀛信专利代理事务 所(普通合伙) 32579 专利代理师 郝鹏 (51)Int.Cl. C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 (54)实用新型名称 一种化学气相沉积炉的炉底加热装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种化学气相沉积炉的 炉底加热装置，包括气相沉积炉，所述气相沉积 炉的一侧内壁设置有通气外壳，且气相沉积炉的 底端内壁固定连接有分流底盘，所述分流底盘的 顶端外壁固定连接有第二导热隔板，且第二导热 隔板的顶端外壁设置有加热器，所述第二导热隔 板的顶端外壁同时固定连接有导热隔板，且导热 隔板覆盖在加热器的上方，所述分流底盘的底端 外壁固定连接有第三导热隔板，且第三导热隔板 的底端外壁固定连接有底座，所述底座的底端内 壁设置有第二加热器，所述气相沉积炉的顶端内 壁固定连接有进气口，本实用新型公开的化学气 U 相沉积炉的炉底加热装置具有通过两次均匀加 6 热提高气体的升温速度，有效提高反应效率的效 3 9