一种用于接近式光刻机找工艺剂量的分区挡板2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220651059 U (45)授权公告日 2024.03.22 (21)申请号 202321882494.1 (22)申请日 2023.07.18 (73)专利权人 宁波启朴芯微系统技术有限公司 地址 315000 浙江省宁波市高新区清逸路 218弄8幢8号二楼208室 专利权人 西北工业大学宁波研究院 (72)发明人 杨灿　赵建村　虞益挺　严宇超　 李文丽　 (74)专利代理机构 宁波甬致专利代理有限公司 33228 专利代理师 高瑞霞 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)实用新型名称 一种用于接近式光刻机找工艺剂量的分区 挡板 (57)摘要 本实用新型提供了一种用于接近式光刻机 找工艺剂量的分区挡板，包括分区板和限位板。 使用时，所述限位板与掩模版的卡具卡合，分区 板与限位板卡合。所述限位板顶面上沿所述第一 圆孔部的外沿设有角度标尺，在实际操作过程 中，操作者可以根据实际需求更换对应角度的分 区板，实现选择以不同角度的透光区域进行分区 调试；还可以对照角度标尺旋转分区板实现精准 分区，从而达到仅曝光一片晶圆找到多个工艺剂 量的效果，无需再每次测试工艺剂量时都一次性 曝光整片晶圆，有效节省了时间，提升了寻找工 U 艺剂量的效率，减少了晶圆的浪费，降低了调试 9 工艺剂量的成本。 5 0 1 5 6