一种微纳复合滤膜及其制备方法和应用

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114162779 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202111227408.9 (22)申请日 2021.10.21 (71)申请人 北京大学 地址 100871 北京市海淀区颐和园路5号 (72)发明人 王玮　刘姚萍　李婷宇　 (74)专利代理机构 北京辰权知识产权代理有限 公司 11619 代理人 张晓玲 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) B01D 53/22 (2006.01) B01D 67/00 (2006.01) B01D 69/02 (2006.01) B01D 69/12 (2006.01) C12M 1/12 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种微纳复合滤膜及其制备方法和应用 (57)摘要 本发明涉及一种微纳复合滤膜的制备方法。 本发明的制备方法基于聚对二甲苯‑微机电系统 (MEMS)翻模工艺，首先在硅衬底上加工出微米柱 与纳米柱复合结构作为模具，之后通过用聚对二 甲苯填充微米柱与纳米柱的间隙来形成微纳复 合滤膜结构。本发明方法可以精确控制纳米孔层 的厚度，纳米通孔的孔径、孔间距和孔分布，以及 支撑层厚度和微米通孔的孔径等。本发明还涉及 通过所述制备方法获得的微纳复合滤膜及其应 用。 A 9 7 7 2 6 1 4