一种堆垛机粉尘清理机构及高洁净晶圆存储库2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117864645 A (43)申请公布日 2024.04.12 (21)申请号 202311556977.7 (22)申请日 2023.11.21 (71)申请人 唯实先端智能科技（苏州）有限公司 地址 215129 江苏省苏州市高新区华通高 新科技产业园4号厂房 (72)发明人 刘明　黄益民　 (74)专利代理机构 北京中安信知识产权代理有 限公司 11248 专利代理师 赵黎虹 (51)Int.Cl. B65G 1/04 (2006.01) B08B 5/04 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图5页 (54)发明名称 一种堆垛机粉尘清理机构及高洁净晶圆存 储库 (57)摘要 本发明涉及的一种堆垛机粉尘清理机构及 高洁净晶圆存储库，包括堆垛机，堆垛机包括移 动板和连接在移动板上方的堆垛机本体，移动板 的两端连接有滑块，滑块沿设置在导向槽内的滑 轨滑动，导向槽的侧面开设有第一净化通道，第 一净化通道的出风口连接有第一抽风机，第一抽 风机的出风口与清洁腔连通，清洁腔底部设置有 将清洁腔中的气体抽出的第二抽风机，第二抽风 机用于将清洁腔中的气体抽送至存储库的底部 能够通过第一抽风机及时排出并将其输送到清 洁腔中，然后第二抽风机将颗粒物抽出存储库， A 能够显著降低堆垛机运行过程中对晶圆造成的 5 污染，进而提高晶圆保存的安全性。 4 6 4 6 8 7 1 1 N C