一种用于EUV光源的液滴锡靶供应装置

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114706276 A (43)申请公布日 2022.07.05 (21)申请号 202210178438.3 (22)申请日 2022.02.25 (71)申请人 中国科学院大连化学物理研究所 地址 116000 辽宁省大连市沙河口区中山 路457号 (72)发明人 焦志润　宋素雅　 (74)专利代理机构 大连东方专利代理有限责任 公司 21212 专利代理师 修睿　李洪福 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) H05G 2/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图8页 (54)发明名称 一种用于EUV光源的液滴锡靶供应装置 (57)摘要 本发明提供一种用于EUV光源的液滴锡靶供 应装置。本发明包括连接在一起的第一端盖板、 第二端盖板和置于二者内部的声学产生及传播 装置，第一端盖板上集成有存储液态锡的腔室， 腔室的输出端设有小孔，第一端盖板的输出端连 接有小孔盖板，存储液态锡的腔室连接有供料 管，小孔盖板上设有供锡液滴流流动的小孔，第 一端盖板上还连接有集成加压装置和温度调节 装置，集成加压装置用于向存储液态锡的腔室中 加压，温度调节装置用于调节第一端盖板的温 度，声学产生及传播装置的输出端与所述存储液 态锡的腔室相连，使其输出形成稳定的锡液滴 A 靶，声学产生及传播装置配套有主动制冷装置。 6 本发明解决了声学产生装置无法在高温下工作 7 2 6 的问题。 0