一种基板取放装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218260822 U (45)授权公告日 2023.01.10 (21)申请号 202222658329.X (22)申请日 2022.10.10 (73)专利权人 苏州晶洲装备科技有限公司 地址 215555 江苏省苏州市常熟市辛庄镇 新阳大道136号 (72)发明人 李晓波　蒋新　施利君　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 专利代理师 杨杰 (51)Int.Cl. B65G 49/06 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图6页 (54)实用新型名称 一种基板取放装置 (57)摘要 本实用新型涉及搬运设备技术领域，公开了 一种基板取放装置。该基板取放装置升降模组， 升降模组包括并排设置的多组顶升组件以及调 偏装置，多组顶升组件能够从传输设备的间隔内 穿过，并能够沿竖直方向升降；顶升组件包括上 下排列的若干组支撑组件，若干组顶升组件的支 撑组件形成若干层顶升结构，基板能够从顶升结 构和传输设备顶部之间的间隙内，以及相邻两层 顶升结构的间隙内穿过；调偏装置位于顶升结构 的两侧，用于对顶升结构上的基板进行位置调 整。本实用新型所提供的基板取放装置，实现基 板的分批取放，解决机械手完成单次动作时长较 U 长的问题；且能够通过调偏装置对顶升结构上的 2 基板进行位置调整，避免因基板位置偏移影响后 2 8 0 续工艺单元的处理。 6 2 8 1 2 N C CN 218