微器件转移设备、微器件转移方法、计算机可读存储介质

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114348956 A (43)申请公布日 2022.04.15 (21)申请号 202011092797.4 (22)申请日 2020.10.13 (71)申请人 南京中兴软件有限责任公司 地址 210012 江苏省南京市雨花台区宁南 街道紫荆花路68号 (72)发明人 李席　朱朝飞　凌立　常博　蔡冬　 (74)专利代理机构 深圳鼎合诚知识产权代理有 限公司 44281 代理人 薛祥辉 (51)Int.Cl. B81C 3/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图4页 (54)发明名称 微器件转移设备、微器件转移方法、计算机 可读存储介质 (57)摘要 本发明实施例提供一种根据本发明实施例 提供的微器件转移设备、微器件转移方法、计算 机可读存储介质，通过在超疏水弹性膜表面加工 制造第一亲水性区域，并使第一亲水区域与待拾 取微器件的上表面形状一致，然后通过张力盘使 超疏水弹性膜与第一亲水区域同性扩张，进而将 第一亲水区域同性扩张为第二亲水区域，第二亲 水区域的形状与待拾取微器件的上表面形状一 致，且面积接近，从而保证了第一液体在第二亲 水区域与待拾取微器件形成的第一液桥被约束 在第二亲水区域，实现了在第一液桥的液桥力的 A 作用下快速地实现了微器件的拾取、姿态校正和 6 转移操作，避免了传统拾取技术的硬接触，防止 5 9 8 损坏微器件。 4 3 4 1 1 N C CN 1