一种用于蒸发舟的夹紧装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116397197 A (43)申请公布日 2023.07.07 (21)申请号 202310298706.X (22)申请日 2023.03.24 (71)申请人 四川海格锐特科技有限公司 地址 610000 四川省成都市成都经济技术 开发区 （龙泉驿）世纪大道515号 (72)发明人 向海洋　李庆国　 (74)专利代理机构 四川云首创专利代理事务所 (普通合伙) 51359 专利代理师 万利 (51)Int.Cl. C23C 14/24 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种用于蒸发舟的夹紧装置 (57)摘要 本发明提供一种蒸发舟的夹紧装置，涉及镀 膜设备的技术领域，包括阳极和公用电极，在所 述阳极和所述公用电极之间夹持有蒸发舟，所述 阳极远离蒸发舟的一端设有立板，所述立板上设 有绝缘滑套，以使所述阳极端部能够在所述绝缘 滑套内滑动；还包括引入电极，所述引入电极的 一端穿过所述绝缘滑套与所述阳极刚性连接，所 述引入电极还连接有调节组件，通过所述调节组 件以使推动所述引入电极和所述阳极靠近或远 离所述蒸发舟，使其夹紧或松开所述蒸发舟。 A 7 9 1 7 9 3 6 1 1 N C CN 116397197 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种蒸发舟的夹紧装