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PCT发明

芯片上晶片对准传感器

2023-04-26 09:54:23 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080048550.4
  • 公开（公告）日：2024-10-29
  • 公开（公告）号：CN114096920A
  • 申请人：ASML控股股份有限公司
摘要：本发明提供一种传感器设备，所述传感器设备包括照射系统、检测器系统和处理器。所述照射系统被配置成沿照射路径传输照射束，并且包括可调式光学器件。所述可调式光学器件被配置成朝向被设置为与所述照射系统相邻的衬底上的衍射目标传输所述照射束。所述传输在所述衍射目标上产生条纹图案。信号束包括由所述衍射目标衍射的衍射阶子束。所述检测器系统被配置成收集所述信号束。所述处理器被配置成基于所述信号束测量所述衍射目标的特性。所述可调式光学器件被配置成调整所述照射束在所述衍射目标上的入射角度，以将所述条纹图案的周期性调整成匹配于所述衍射目标的周期性。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114096920 A (43)申请公布日 2022.02.25 (21)申请号 202080048550.4 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2020.06.30 代理人 王益 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/877,964 2019.07.24 US G03F 9/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2021.12.30 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/068369 2020.06.30 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/013483 EN 2021.01.28 (71)申请人 ASML控股股份有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 T ·M ·T ·A ·M ·埃拉扎里　 M ·斯威拉姆　 权利要求书2页 说明书13页 附图5页 (54)发明名称 芯片上晶片对准传感器 (57)摘要

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