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发明

一种进行微纳米图案化的方法和装置2024

2024-03-25 07:19:06 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202311729998.4
  • 公开（公告）日：2024-03-19
  • 公开（公告）号：CN117720063A
  • 申请人：暨南大学
摘要：本发明属于微纳尺度图案化技术领域，具体涉及一种进行微纳米图案化的方法和装置。本发明在双层中空玻璃基板上平铺水凝胶溶液，水凝胶预聚后加入待图案化液滴，该液体在界面张力作用下形成待图案化液柱，然后将激光照射到待图案化液柱中，激光波长与液柱的吸收相匹配，产生稳定的流场、温度场及光力场。本发明通过光热产生的对流和光力共同作用，将待图案化颗粒捕获至修饰双层中空玻璃基板内表面预定位置，避免了光力方向产生角度偏差导致的图案位置误差，光热效应还促进了待图案化颗粒周围的水凝胶聚合，进而将待图案化颗粒固定。本发明可以在各种时间和空间分辨率下进行定制，精确快速实现胶体颗粒图案化。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117720063 A (43)申请公布日 2024.03.19 (21)申请号 202311729998.4 C08F 222/14 (2006.01) C08F 220/06 (2006.01) (22)申请日 2023.12.15 C03C 17/32 (2006.01) (66)本国优先权数据 202311629433.9 2023.12.01 CN (71)申请人 暨南大学 地址 510632 广东省广州市黄埔大道西601 号 (72)发明人 辛洪宝　史阳　黄晶萍　李宝军　 刘炼柔　李醒　徐欣欣　 (74)专利代理机构 北京高沃律师事务所 11569 专利代理师 吕永齐 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) C08F 220/20 (2006.01) C08F 2/46 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图4页 (54)发明名称 一种进行微纳米图案化的方法和装置 (57)摘要 本发明属于微纳尺度图案化技术领域，具体 涉及一种进行微纳米图案化的方法和装置。本发 明在双层中空玻璃基板上平铺水凝胶溶液，水凝 胶预聚后加入待图案化液滴，该液体在界面张力 作用下形成

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