一种纳米综合系统及对纳米材料进行研究的方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114804015 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202110069018.7 (22)申请日 2021.01.19 (71)申请人 西湖大学 地址 310024 浙江省杭州市西湖区转塘街 道石龙山街18号 (72)发明人 郑小睿　 (74)专利代理机构 深圳市博锐专利事务所 44275 专利代理师 林栋 (51)Int.Cl. B82B 3/00 (2006.01) B82Y 35/00 (2011.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图2页 (54)发明名称 一种纳米综合系统及对纳米材料进行研究 的方法 (57)摘要 本发明公开的一种纳米综合系统及对纳米 材料进行研究的方法，将探针组件、光学组件、电 学组件、环境控制组件结合到同一个样品台上， 由中心控制器控制上述组件实现纳米材料的同 时加工、拼接加工和闭环反馈加工、光电物性调 控和原位表征三大功能的综合。上述组件的搭配 使用超出了组件之间简单叠加的效果，有效提高 了纳米综合系统功能的多样性；同时由该纳米综 合系统实现的纳米材料的研究，在微纳加工过程 中提供闭环反馈机制，实现高精度结构拼接及加 工参数自动优化，使实际加工结构与理论设计无 A 限趋近，提高了纳米材料研究的准确性和精密 5 性。 1 0 4 0 8 4 1 1 N C CN 114