一种形变可恢复的纳米悬臂梁制作方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114715837 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202011530038.1 (22)申请日 2020.12.22 (71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术 研究所 地址 200050 上海市长宁区长宁路865号 (72)发明人 陶虎　秦楠　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 郝传鑫　贾允 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图5页 (54)发明名称 一种形变可恢复的纳米悬臂梁制作方法 (57)摘要 本申请公开了一种形变可恢复的纳米悬臂 梁制作方法，包括：提供基底；在所述基底上设置 光刻材料形成与悬臂梁尺寸对应的薄膜，所述悬 臂梁包括相互连接的悬臂梁体和支撑立柱；基于 预先输入的悬臂梁结构图使用电子束依次对所 述薄膜中设定的悬臂梁体区域和支撑立柱区域 进行电子束三维直写曝光得到待显影悬臂梁结 构；对所述待显影悬臂梁结构显影定影得到与所 述悬臂梁结构图对应的悬臂梁结构，所述悬臂梁 结构中的悬臂梁体受电子辐照形变可恢复。该蛋 白质纳米悬臂梁通过电子束直写制备而成，不会 引入杂质离子的污染问题，通过改变不同加速电 A 压和曝光剂量，来改变电子束入射悬臂梁的深 7 度，能够在能量最小化驱动下实现悬臂梁弯曲‑ 3 8 5 恢复行为。 1