槽加工头的集尘机构以及槽加工装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113021659 A (43)申请公布日 2021.06.25 (21)申请号 202011355832.7 (22)申请日 2020.11.26 (30)优先权数据 2019-232499 2019.12.24 JP (71)申请人 三星钻石工业股份有限公司 地址 日本大阪 (72)发明人 小畑良介　西口朋宏　 (74)专利代理机构 北京康信知识产权代理有限 责任公司 11240 代理人 李丹 (51)Int.Cl. B28D 5/04 (2006.01) B28D 7/02 (2006.01) B28D 7/00 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) 权利要求书3页 说明书10页 附图6页 (54)发明名称 槽加工头的集尘机构以及槽加工装置 (57)摘要 本发明的目的在于提供一种槽加工头的集 尘机构以及槽加工装置，将集尘罩的结构设为提 高抽吸的空气的流速的结构，能够更有效地在划 线加工时产生的粉尘附着于基板的表面之前去 除粉尘。其具备：槽加工头(16)，具备工具架 (18)，该工具架(18)在左右方向上排列保持多个 将刀尖朝向下方的工具(17)；集尘罩(20)，设置 在槽加工头(16)的下部，并与空气一起吸引使用 工具(17)对基板(W)进行刻划时所产生的粉尘； 管道(21)，供来自集尘罩(20)的空气通过；以及 集尘机，吸引通过管道