一种KrF正性光刻胶及其制备方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117908329 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202311838645.8 (22)申请日 2023.12.28 (71)申请人 瑞红（苏州）电子化学品股份有限公 司 地址 215000 江苏省苏州市吴中区吴中经 济开发区民丰路501号 (72)发明人 徐亮　黄巍　俞灏洋　林书玮　 (74)专利代理机构 北京维正专利代理有限公司 11508 专利代理师 王品儒 (51)Int.Cl. G03F 7/004 (2006.01) G03F 7/039 (2006.01) 权利要求书1页 说明书7页 (54)发明名称 一种KrF正性光刻胶及其制备方法 (57)摘要 本申请涉及光刻胶领域，具体公开了一种 KrF正性光刻胶及其制备方法。KrF正性光刻胶包 括以下质量份的各原料：丙烯酸酯共聚树脂40‑ 60份、酚醛树脂5‑10份、光致酸产生剂0.2‑1份、 改性二氧化硅3‑10份、有机碱0.01‑5份、表面活 性剂0.01‑2份、溶剂200‑300份；其制备方法为： 包括以下步骤：按配比，将丙烯酸酯共聚树脂、酚 醛树脂、光致酸产生剂、纳米微粒、有机碱、表面 活性剂、溶剂混合均匀，得到KrF正性光刻胶。本 申请的KrF正性光刻胶具有粘附性好，光刻图形 质量较佳的优点。 A 9 2 3 8 0 9 7 1 1 N C CN 11790832