一种聚合物微结构的超精密制造方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114804011 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210476300.1 (22)申请日 2022.04.29 (71)申请人 中国兵器科学研究院宁波分院 地址 315103 浙江省宁波市高新区凌云路 199号 (72)发明人 李晓静　王大森　聂凤明　赵仕燕　 夏超翔　 (74)专利代理机构 宁波诚源专利事务所有限公 司 33102 专利代理师 袁忠卫　袁翊朦 (51)Int.Cl. B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 一种聚合物微结构的超精密制造方法 (57)摘要 本发明涉及一种聚合物微结构的超精密制 造方法，步骤S1、采用金刚石铣削接触式工艺对 聚合物表面进行加工，以实现对微结构的毫微级 控形；步骤S2、对步骤S1得到的聚合物微结构采 用激光束非接触式工艺，实现微米级调形；步骤 S3、在步骤S2得到的聚合物外设置导电层，导电 层具有使聚合物的微结构外露的镂空部，然后采 用非接触式离子束加工，离子束直接对聚合物微 结构进行纳米级精调。最终产品可以达到需要的 精度要求及表面质量要求，并且加工效率较高。 A 1 1 0 4 0 8 4 1 1 N C CN 114804011 A 权　利　要　求　书