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PCT发明

用于确定印刷图案的随机变化的方法

2023-06-23 08:26:14 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080015882.2
  • 公开（公告）日：2025-04-01
  • 公开（公告）号：CN113454533A
  • 申请人：ASML荷兰有限公司
摘要：本文描述了一种用于确定衬底上的印刷图案的测量数据的方法。方法涉及：获得（i）衬底的原始图像，包括与参考图案相对应的印刷图案，（ii）原始图像的平均图像，以及（iii）基于平均图像的复合轮廓。进一步地，复合轮廓相对于参考图案的参考轮廓对准，并且原始轮廓是基于对准的复合轮廓和复合轮廓的管芯到数据库对准的输出从原始图像提取的。进一步地，方法基于原始轮廓确定多个图案测量结果，并且基于多个图案测量结果确定与印刷图案相对应的测量数据。进一步地，方法确定多个过程变化，诸如随机变化、管芯间变化、管芯内变化和总变化。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113454533 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202080015882.2 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (22)申请日 2020.01.30 代理人 胡良均 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/809,838 2019.02.25 US G03F 1/36 (2012.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/20 (2006.01) 2021.08.20 G03F 9/00 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 G03F 1/00 (2012.01) PCT/EP2020/052261 2020.01.30 G06T 7/00 (2017.01) G06T 5/50 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布数据

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