一种电容薄膜真空计及其制备方法2023

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116818181 A (43)申请公布日 2023.09.29 (21)申请号 202310819607.1 (22)申请日 2023.07.06 (71)申请人 山东大学 地址 266200 山东省青岛市即墨区滨海路 72号 (72)发明人 林玉哲　陶继方　陈公贤　 (74)专利代理机构 青岛华慧泽专利代理事务所 (普通合伙) 37247 专利代理师 刘娜 (51)Int.Cl. G01L 21/00 (2006.01) G01L 9/12 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 (54)发明名称 一种电容薄膜真空计及其制备方法 (57)摘要 本发明公开了一种电容薄膜真空计及其制 备方法，该真空计包括上壳体、下壳体和位于两 者之间的感压膜片，所述感压膜片和下壳体为金 属材质，感压膜片和下壳体焊接在一起形成了检 测腔，所述下壳体底部焊接有连接管，通过连接 管连接检测腔和待测真空腔体；所述上壳体由绝 缘材料制成，所述上壳体粘接于感压膜片或下壳 体上，所述上壳体与感压膜片之间形成参考腔； 所述上壳体的顶部内壁镀有固定电极，所述固定 电极通过引出电极将电容变化信号引出至参考 腔外部，所述上壳体上设置抽气口和吸气剂，所 述参考腔为真空状态。本发明所公开的电容薄膜 A 真空计在保证电容式薄膜真空计耐腐蚀、高精度 1 的特性下，使电容式薄膜真空计的结构以及制备 8 1 8 方法大为简化。 1