1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 物理
PCT发明

用于分配光传递的系统和方法2024

2024-03-25 07:45:04 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202280051219.7
  • 公开（公告）日：2024-03-22
  • 公开（公告）号：CN117751329A
  • 申请人：ASML荷兰有限公司
摘要：一种用于光刻过程中的光传递的改善的确定序列的方法，包括：确定待传递的光的强度序列，所述强度序列包括在所述强度序列内的、其中基本上没有光被传递至衬底的间隔；和通过光源并且利用数字反射镜装置(DMD)根据所述强度序列将光传递至衬底。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117751329 A (43)申请公布日 2024.03.22 (21)申请号 202280051219.7 G ·F ·I ·卡默尔　 (22)申请日 2022.07.04 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 (30)优先权数据 专利代理师 王益 21187368.2 2021.07.23 EP (51)Int.Cl . (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/20 (2006.01) 2024.01.19 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2022/068478 2022.07.04 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2023/001536 EN 2023.01.26 (71)申请人 ASML荷兰有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 J ·温特斯　E ·J ·范沃特　 M ·J ·范德兰斯　 P ·W ·H ·德亚格尔　 权利要求书2页 说明书21页 附图12页 (54)发明名称

最新专利

相关专利