一种实现结构色的纳米结构及其制备方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114671402 A (43)申请公布日 2022.06.28 (21)申请号 202210319265.2 B82Y 20/00 (2011.01) B82Y 40/00 (2011.01) (22)申请日 2022.03.29 (71)申请人 中国科学院微电子研究所 地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 (72)发明人 史丽娜　李泠　刘明　李龙杰　 尚潇　王冲　陈生琼　牛洁斌　 薛惠文　胡劲宇　 (74)专利代理机构 北京华沛德权律师事务所 11302 专利代理师 房德权 (51)Int.Cl. B82B 1/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) G03F 7/20 (2006.01) G03F 7/32 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种实现结构色的纳米结构及其制备方法 (57)摘要 本发明涉及结构色超表面技术和显示技术 领域，尤其涉及一种实现结构色的纳米结构及其 制备方法，该实现结构色的纳米结构，包括：包 括：衬底，位于衬底上的手性纳米结构，该手性纳 米结构呈周期性阵列排布，该周期性阵列排布的 参数为在x方向和y方向的排布周期均为200nm～