有机锡-无机锡杂化Sn18型晶态锡氧簇合物及其制备方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114167685 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202111488915.8 (22)申请日 2021.12.07 (71)申请人 山西师范大学 地址 030000 山西省太原市小店区太榆路 339号 (72)发明人 张献明　田秀娟　郁有祝　 (74)专利代理机构 成都其高专利代理事务所 (特殊普通合伙) 51244 代理人 廖曾 (51)Int.Cl. G03F 7/004 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图6页 (54)发明名称 有机锡-无机锡杂化Sn 型晶态锡氧簇合物 18 及其制备方法 (57)摘要 本发明公开了一种有机锡‑无机锡杂化Sn18 型晶态锡氧簇合物及其制备方法，属于无机化学 领域。采用取代苯甲酸、苯基膦酸、SnCl ·5H O 4 2 和丁基锡酸为原料，以乙腈、异丙醇和水为混合 溶剂，在100℃下通过自组装反应，制备出三例有 机锡‑无机锡杂化Sn 型晶态锡氧簇合物。本发 18 明材料具有精确结构信息、高度疏水性和良好稳 定性，有望作为一种新型的锡氧簇材料用于EUV 光刻技术中光刻胶的制备。且其原料易得，制备 方法简单，产率高，可实现低成本、高效益。 A 5 8 6 7 6 1 4