一种多面共体光学元件的等离子体抛光装置及抛光方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117884986 A (43)申请公布日 2024.04.16 (21)申请号 202410151743.2 B24B 41/02 (2006.01) B24B 1/00 (2006.01) (22)申请日 2024.02.02 (71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物 理研究所 地址 130033 吉林省长春市经济技术开发 区东南湖大路3888号 (72)发明人 唐瓦　程强　罗霄　邓伟杰　 王孝坤　张学军　 (74)专利代理机构 深圳市科进知识产权代理事 务所(普通合伙) 44316 专利代理师 张桂平 (51)Int.Cl. B24B 13/00 (2006.01) B24B 49/12 (2006.01) B24B 51/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种多面共体光学元件的等离子体抛光装 置及抛光方法 (57)摘要 本发明提供一种多面共体光学元件的等离 子体抛光装置及抛光方法，其包括安装工位，安 装工位用于安装多面体元件，设置在安装工位一 侧对多面体元件的光学表面进行抛光的离子抛 光机构；调节机构，可带动安装工位和离子抛光 机构相对活动，以调整离子抛光机构与待加工光 学表面的位置和角度；