具有电极和电介质的MEMS装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114655917 A (43)申请公布日 2022.06.24 (21)申请号 202111569951.7 (22)申请日 2021.12.21 (30)优先权数据 17/133,506 2020.12.23 US (71)申请人 美商楼氏电子有限公司 地址 美国伊利诺伊州 (72)发明人 P ·V ·洛佩特　M ·佩德森　 (74)专利代理机构 北京三友知识产权代理有限 公司 11127 专利代理师 党晓林　刘爱勤 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) 权利要求书3页 说明书11页 附图17页 (54)发明名称 具有电极和电介质的MEMS装置 (57)摘要 本公开涉及具有电极和电介质的MEMS装置。 MEMS装置可以包括第一支撑层、第二支撑层和悬 置在第一支撑层与第二支撑层之间的固体电介 质。固体电介质可以相对于第一支撑层和第二支 撑层移动，并且可以包括多个孔。MEMS装置可以 包括第一多个电极，所述第一多个电极联接到第 一支撑层和第二支撑层并且延伸穿过所述多个 孔的第一子集。MEMS装置可以包括第二多个电 极，所述第二多个电极联接到第一支撑层并且部 分地延伸到所述多个孔的第二子集中。MEMS装置 可以包括第三多个电极，所述第三多个电极联接 到所述第二支撑层并且部分地延伸到所述多个 A 孔的第三子集中。 7 1 9 5 5 6 4