一种倍率可调的物镜光学系统以及投影光刻系统

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114859674 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210565479.8 (22)申请日 2022.05.23 (71)申请人 张家港中贺自动化科技有限公司 地址 215614 江苏省苏州市张家港市凤凰 大道14号科技创业园A栋 (72)发明人 刘鹏　 (74)专利代理机构 苏州国诚专利代理有限公司 32293 专利代理师 陈松 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) G02B 15/14 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图2页 (54)发明名称 一种倍率可调的物镜光学系统以及投影光 刻系统 (57)摘要 本发明提供了一种倍率可调的物镜光学系 统以及投影光刻系统，其投影倍率可调，且使得 物面和像面都具有足够的操作空间，包括沿着光 轴设置的第一镜组、反射镜、第二镜组、第三镜 组、第四镜组和反射曲面，由物面发射的光束依 次经过所述第一镜组、反射镜、第二镜组、第三镜 组后，经过反射曲面反射后，再依次经过所述第 三镜组、第二镜组、反射镜、第四镜组后汇聚成像 到像面，所述第一镜组和所述第四镜组能够沿着 光轴方向移动调整光学系统的投影倍率，所述物 镜光学系统满足关系式：0.38<f1/L<1.5、0.26<‑ A R/L<1.1，其中，f1为第一镜组的组合焦距，L为光 4 学系统的物面至像面光学距离，R为反射曲面的 7 6 9 曲率半径。 5