碳化硅废粉再利用以生产碳化硅的方法及应用

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116605882 A (43)申请公布日 2023.08.18 (21)申请号 202310391497.3 (22)申请日 2023.04.13 (71)申请人 浙江兆晶新材料科技有限公司 地址 323010 浙江省丽水市莲都区南明山 街道绿谷大厦309号国际车城15号楼 11层-351 申请人 东旭科技集团有限公司 (72)发明人 李奕铭　林宏达　翟虎　宋亚滨　 (74)专利代理机构 北京润平知识产权代理有限 公司 11283 专利代理师 陈静 (51)Int.Cl. C01B 32/984 (2017.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图2页 (54)发明名称 碳化硅废粉再利用以生产碳化硅的方法及 应用 (57)摘要 本发明涉及碳化硅制备领域，公开了一种碳 化硅废粉再利用以生产碳化硅的方法及应用。本 发明的方法包括：向所述管状模具与所述反应容 器的侧壁之间的间隙填充碳化硅废粉，并向所述 管状模具的内侧填充碳硅混合料；填充完成后， 拆卸所述管状模具，盖上所述反应容器的盖体， 将所述反应容器置于合成炉进行合成反应制得 所述碳化硅粉料。本发明提供的方法将无法用于 晶体生长的碳化硅废粉回收再利用以生产碳化 硅粉料，为碳化硅废粉的再利用开辟了新途径， 提高了碳化硅废粉的利用率，同时，克服了现有 A 技术合成的碳化硅粉料碳化而导致最终得到的 2 碳化硅产率降低的问题，提高了碳硅混合料合成