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发明

机械臂组件及晶圆检测台2024

2024-03-25 07:23:22 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202410179217.7
  • 公开（公告）日：2024-04-19
  • 公开（公告）号：CN117723946A
  • 申请人：深圳市森美协尔科技有限公司
摘要：本申请涉及一种机械臂组件及晶圆检测台。机械臂组件包括：机械臂、多个吸盘以及支撑件，机械臂具有连通的多个通孔及真空通道；吸盘与通孔一一对应，吸盘包括相连的夹持部及吸嘴，夹持部穿设于通孔，吸嘴设置于机械臂的一侧，夹持部具有第一外周侧壁，夹持部具有贯穿第一外周侧壁的第一通道及贯穿夹持部面向吸嘴的表面的穿设孔，吸嘴、穿设孔与第一通道连通；支撑件卡设于夹持部的穿设孔；支撑件具有第二外周侧壁，支撑件具有贯穿第二外周侧壁的第二通道及贯穿支撑件面向吸嘴的表面的第三通道，吸嘴、第三通道、第二通道、第一通道及真空通道依次连通。吸盘稳固设置于机械臂。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117723946 A (43)申请公布日 2024.03.19 (21)申请号 202410179217.7 B25J 9/00 (2006.01) B25H 1/02 (2006.01) (22)申请日 2024.02.18 B25H 1/12 (2006.01) (71)申请人 深圳市森美协尔科技有限公司 B25J 15/06 (2006.01) 地址 518103 广东省深圳市宝安区福海街 道塘尾社区荔园路翰宇湾区创新港4 号楼三层 (72)发明人 欧晓永　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 陈舟苗 (51)Int.Cl. G01R 31/28 (2006.01) G01R 1/04 (2006.01) B65G 47/91 (2006.01) B65D 25/10 (2006.01) 权利要求书2页 说明书14页 附图12页 (54)发明名称 机械臂组件及晶圆检测台 (57)摘要 本申请涉及一种机械臂组件及晶圆检测台。 机械臂组件包括：机械臂、多个吸盘以及支撑件， 机械臂具有连通的多个通

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