光刻机、运动台定位测量系统及其工作方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114690570 A (43)申请公布日 2022.07.01 (21)申请号 202011591817.2 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人 上海微电子装备（集团）股份有限公 司 地址 201203 上海市浦东新区张东路1525 号 (72)发明人 王帅　 (74)专利代理机构 上海思捷知识产权代理有限 公司 31295 专利代理师 王宏婧 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图3页 (54)发明名称 光刻机、运动台定位测量系统及其工作方法 (57)摘要 本发明提供的光刻机、运动台定位测量系统 及其工作方法，通过在运动台定位测量系统内设 置吹排装置，所述吹排装置安装在所述运动台上 读头区域，随运动台移动，所述吹排装置用于向 平面光栅表面吹淋离子气体去除光栅表面静电， 减少因静电而吸附的颗粒物，保持光栅尺光路洁 净度；所述吹排装置还可以清洁和带走光栅尺表 面颗粒，保持表面洁净度，保持测量精度稳定，减 少平面光栅表面吸附颗粒物，保持光栅尺光路洁 净度，能对运动台全行程工作场景提供更精确的 位置测量；所述运动台定位测量系统不需要将运 动台和平面光栅拖出光刻机进行清洁，保证运动 A 台全行程工作场景，提供更精确的位置测量同时 0 提高工作效率。 7 5 0 9 6 4 1 1 N C CN 11469057