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PCT发明

具有穿过光罩隔室壁的保持部的光罩盒

2022-10-24 10:23:18 发布于四川 31
  • 申请专利号：CN202080094226.6
  • 公开（公告）日：2026-03-10
  • 公开（公告）号：CN115004111A
  • 申请人：恩特格里斯公司
摘要：一种光罩盒包含外部分及内部分，所述外部分包含盒门及盒圆顶，所述内部分包含底板及盖。所述底板或所述盖中的一者包含朝向所述底板或所述盖中的另一者延伸的光罩隔室壁。所述光罩隔室壁包含一或多个保持特征。所述盒门或所述盒圆顶包含经配置以接触所述保持特征的一或多个致动表面。所述保持特征经配置以通过与所述致动表面的接触而被移动。所述保持特征可处于一位置中，所述位置经配置以在通过将所述底板与所述盖接合、将所述经接合底板与所述经接合盖放置于所述盒圆顶内及将所述盒门紧固到所述盒圆顶而组装所述光罩盒时将光罩紧固于所述光罩盒的所述内部分内。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115004111 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202080094226.6 (74)专利代理机构 北京律盟知识产权代理有限 责任公司 11287 (22)申请日 2020.12.09 专利代理师 李婷 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/955,619 2019.12.31 US G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 1/66 (2006.01) 2022.07.22 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/US2020/064067 2020.12.09 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/138012 EN 2021.07.08 (71)申请人 恩特格里斯公司 地址 美国马萨诸塞州 (72)发明人 R ·V ·拉施克　P ·莱恩　 A ·M ·蒂本　

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