PCT发明

涂布装置及涂布方法

2022-10-24 10:22:59 发布于四川 8

申请专利号：CN202080093813.3
公开（公告）日：2023-07-14
公开（公告）号：CN115003421A
申请人：东丽工程株式会社

摘要：本发明提供一种能够形成涂布开始部和涂布结束部的膜厚的偏差少的涂布膜的涂布装置和涂布方法。具体而言，涂布装置具有：供给阀(41)，从供给机构(20)向该供给阀(41)的入口侧供给涂布液(3)，该供给阀(41)的出口侧与模头(10)连接，内部的阀芯(42)的位置根据轴的动作而变化，能够对该供给阀(41)的形成涂布液(3)的流路的打开状态和切断涂布液(3)的流路的关闭状态这2个状态进行切换控制；以及回流阀(51)，从供给机构(20)向该回流阀(51)的入口侧供给涂布液(3)，该回流阀(51)的出口侧与使涂布液(3)向罐(22)返回的配管即回流配管(24)连接，内部的阀芯(52)的位置根据轴的动作而变化，能够对该回流阀(51)的形成涂布液(3)的流路的打开状态和切断涂布液(3)的流路的关闭状态这2个状态进行切换控制，使供给阀(41)的阀芯(42)移动的驱动源为马达方式，使回流阀(51)的阀芯(52)移动的驱动源为气动方式，供给阀(41)的阀芯(42)的移动速度比回流阀(51)的阀芯(52)的移动速度快。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115003421 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202080093813.3 (74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司 11127 (22)申请日 2020.09.30 专利代理师黄纶伟 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2020-016140 2020.02.03 JP B05C 5/02 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 B05C 11/10 (2006.01) 2022.07.20 H01M 4/04 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/037297 2020.09.30 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/157127 JA 2021.08.12 (71)申请人东丽工程株式会社地址日本东京都 (72)发明人元井昌司　野村和夫　内田新也　

涂布装置及涂布方法

专利内容

最新专利

相关专利