金刚石涂层工件的实时膜厚监控系统及方法2025
- 申请专利号:CN202311803407.3
- 公开(公告)日:2025-05-06
- 公开(公告)号:CN117848262A
- 申请人:广东鼎泰高科技术股份有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117848262 A (43)申请公布日 2024.04.09 (21)申请号 202311803407.3 G06F 30/17 (2020.01) G06F 30/20 (2020.01) (22)申请日 2023.12.25 G06F 17/10 (2006.01) (71)申请人 广东鼎泰高科技术股份有限公司 C23C 16/27 (2006.01) 地址 523071 广东省东莞市厚街镇寮厦竹 C23C 16/52 (2006.01) 园路39号1号楼201室 (72)发明人 曹时义 李浩 龚文安 赵紫锋 王俊锋 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 吴廷渊 张艳美 (51)Int.Cl. G01B 21/08 (2006.01) G01G 19/414 (2006.01) G01B 21/02 (2006.01) G01B 21/10 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图