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发明

金刚石涂层工件的实时膜厚监控系统及方法2025

2024-04-11 07:26:28 发布于四川 2
  • 申请专利号：CN202311803407.3
  • 公开（公告）日：2025-05-06
  • 公开（公告）号：CN117848262A
  • 申请人：广东鼎泰高科技术股份有限公司
摘要：本发明公开一种金刚石涂层工件的实时膜厚监控系统，包括：载料组件，用于放置待镀膜件；激光收发组件，用于发射激光光束以及接收激光光束的信号强度；涂层组件，用于对待镀膜件进行镀膜；移动组件，用于驱动激光收发组件移动；控制单元，分别与激光收发组件、涂层组件和移动组件电连接，用于使激光光束的移动速率等于标准膜厚生长速率，并输出待镀膜件的实时膜厚；当激光收发组件实时获取的第二信号强度与激光光束经过膜厚生长起点时的第一信号强度相同时，待镀膜件的当前膜厚等于激光光束的位移距离。本发明通过激光光束的位移距离获取镀膜工件的实时膜厚，可以实现膜厚的自动化测量，精确控制镀膜工件的涂层厚度。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117848262 A (43)申请公布日 2024.04.09 (21)申请号 202311803407.3 G06F 30/17 (2020.01) G06F 30/20 (2020.01) (22)申请日 2023.12.25 G06F 17/10 (2006.01) (71)申请人 广东鼎泰高科技术股份有限公司 C23C 16/27 (2006.01) 地址 523071 广东省东莞市厚街镇寮厦竹 C23C 16/52 (2006.01) 园路39号1号楼201室 (72)发明人 曹时义　李浩　龚文安　赵紫锋　 王俊锋　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 吴廷渊　张艳美 (51)Int.Cl. G01B 21/08 (2006.01) G01G 19/414 (2006.01) G01B 21/02 (2006.01) G01B 21/10 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图

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