微机电装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118062801 A (43)申请公布日 2024.05.24 (21)申请号 202211482141.2 (22)申请日 2022.11.24 (71)申请人 世界先进积体电路股份有限公司 地址 中国台湾新竹县 (72)发明人 夏佳杰　 (74)专利代理机构 深圳新创友知识产权代理有 限公司 44223 专利代理师 方艳平 (51)Int.Cl. B81B 3/00 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) B81B 7/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图10页 (54)发明名称 微机电装置 (57)摘要 一种微机电(MEMS)装置，包含具有空腔的基 底，以及设置在空腔上且附着于基底的微机电结 构。微机电结构包含复数个悬臂部分，其中每个 悬臂部分包含自由端和锚端。此外，微机电装置 还包含设置在微机电结构上方的膜片，且膜片包 含复数个突出部，分别连接到悬臂部分的自由 端。另外，微机电装置还包含位于微机电结构和 膜片之间的间隙，此间隙围绕这些突出部。 A 1 0 8 2 6 0 8 1 1 N C CN 118062801 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种微机电装置，其特征在于，包括： 一基底，具有一空腔； 一微机电结构，包括一第一电极层、一第