一种微镜及制作方法

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113023661 A (43)申请公布日 2021.06.25 (21)申请号 201911256877.6 (22)申请日 2019.12.09 (71)申请人 觉芯电子（无锡）有限公司 地址 214000 江苏省无锡市滨湖区菱湖大 道200号中国传感网国际创新园A802 (72)发明人 马宏　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 代理人 郝传鑫　贾允 (51)Int.Cl. B81B 7/02(2006.01) B81C 1/00(2006.01) G02B 26/08(2006.01) 权利要求书3页 说明书14页 附图16页 (54)发明名称 一种微镜及制作方法 (57)摘要 本发明公开了一种微镜，所述微镜包括第一 晶圆和第二晶圆，第一晶圆和第二晶圆键合成整 体；所述第一晶圆表面设有空腔，所述第二晶圆 表面设有至少一层器件层，所述器件层上设有若 干金属层；所述第一晶圆具有所述空腔的表面设 有二氧化硅薄膜，或者所述第二晶圆与所述第一 晶圆连接的表面设有二氧化硅薄膜。本发明还公 开了一种空腔具有倾斜面的微镜。本发明还公开 了多种用于制作上述微镜的方法。采用本发明， 具有不需要对晶圆进行倒置，也不需要制备额外 保护层保护已加工完成的器件层，还可同时加工 背腔与器件层，降