一种微结构的制备方法2024

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117908323 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202311769319.6 (22)申请日 2023.12.20 (71)申请人 珠海莫界科技有限公司 地址 519085 广东省珠海市高新区唐家湾 镇湾创路58号3层301-1 (72)发明人 邵陈荻　赵晋　邱晓斌　 (74)专利代理机构 深圳市君胜知识产权代理事 务所(普通合伙) 44268 专利代理师 温宏梅 (51)Int.Cl. G03F 7/00 (2006.01) G03F 7/16 (2006.01) G02B 6/136 (2006.01) G02B 6/124 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图6页 (54)发明名称 一种微结构的制备方法 (57)摘要 本发明公开一种微结构的制备方法，包括： 提供一基底；N次在基底上点涂压印胶并匀胶，各 次得到含有第N压印胶层的中间结构；使用模板 对中间结构进行压印，制得所述微结构；N≥2，第 N压印胶层的点涂位置与第N‑1压印胶层的点涂 位置不完全相同，和/或第N压印胶层的点涂位置 位于第N‑1压印胶层的点涂位置上；第N‑1次匀胶 的最终转速大于第N次匀胶的最终转速。本发明 采用在基底上多次点涂压印胶并匀胶的技术方 案，通过调整匀胶的转速使相邻两次中前一次的 匀胶速度大于相邻两次中后一次的匀胶速度，使 得多个压印胶层叠加后在不同的位置