1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 物理
发明

一种红外滤光片及其制备方法和在海洋气体遥感探测器中的应用

2023-05-12 11:34:16 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202210128631.6
  • 公开（公告）日：2024-12-27
  • 公开（公告）号：CN114545543A
  • 申请人：湖南麓星光电科技有限公司
摘要：本发明公开了一种红外滤光片及其制备方法和在海洋气体遥感探测器中的应用，红外滤光片由Si基底及其表面的镀膜层构成；其中，镀膜层由多层SiO镀膜层和Si镀膜层交替叠加构成。通过在Si基底表面通过离子溅射镀膜依次交替镀制SiO镀膜层和Si镀膜层，即得具有2.8μm波段、2.35μm波段及1.59μm波段三通道的红外滤光片，该红外滤光片能够实现一种或多种气体检测，检测过程中无需更换其他红外滤光片，大大降低了遥感探测装置体积和重量，降低成本，且该红外滤光片能实现半高宽为100nm，峰值透过率达95％以上，截止区透过率小于0.1％，大大提高了检测信噪比，提高测量精确度。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114545543 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202210128631.6 G01N 21/3504 (2014.01) G01N 21/01 (2006.01) (22)申请日 2022.02.11 (71)申请人 湖南麓星光电科技有限公司 地址 410004 湖南省长沙市天心区新岭路 62号湖南生态医博园（天心软件产业 园）A区A-1栋101 (72)发明人 范鹏　姜海　熊峰　刘俞含　 (74)专利代理机构 长沙市融智专利事务所(普 通合伙) 43114 专利代理师 张伟 (51)Int.Cl. G02B 5/28 (2006.01) C23C 14/10 (2006.01) C23C 14/16 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图1页 (54)发明名称 一种红外滤光片及其制备方法和在海洋气 体遥感探测器中的应用 (57)摘要 本发明公开了一种红外滤光片及其制备方 法和在海洋气体遥感探测器中的应用，红外滤光 片由Si基底及其表面的镀膜层构成；其中，镀膜 层由多层SiO镀膜层和Si镀膜层交替叠加构成。 通过在Si基底表面通过离子溅射镀膜依次交替 镀制

最新专利

相关专利