MEMS驱动器件及其形成方法

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113233411 A (43)申请公布日 2021.08.10 (21)申请号 202110485548.X (22)申请日 2021.04.30 (71)申请人 中芯集成电路制造（绍兴）有限公司 地址 312000 浙江省绍兴市皋埠镇临江路 518号 (72)发明人 马玉莎　张兆林　 (74)专利代理机构 上海思微知识产权代理事务 所(普通合伙) 31237 代理人 周耀君 (51)Int.Cl. B81B 7/02 (2006.01) B81B 7/00 (2006.01) B81C 1/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 附图5页 (54)发明名称 MEMS驱动器件及其形成方法 (57)摘要 本发明提供了一种MEMS驱动器件及其形成 方法。通过在第一衬底或第二衬底上设置固定 件，以用于在刻蚀形成可动梳齿结构的过程中， 固定微机械结构进而限制可动梳齿结构中的各 个梳齿发生扭转，改善梳齿侧壁受到刻蚀损伤的 问题。并且，在第一衬底上对应于微机械结构还 设置有止挡件，该止挡件可用于限制微机械结构 的最大扭转角度，以防止在外力冲击下微机械结 构发生断裂的问题。 A 1 1 4 3 3 2 3 1 1 N C CN 113233411 A 权　利　要　求　书 1/2