平坦度控制方法及装置、涂膜的形成方法及装置2024

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113552771 A (43)申请公布日 2021.10.26 (21)申请号 202110443868.9 (22)申请日 2021.04.23 (30)优先权数据 2020-077061 2020.04.24 JP (71)申请人 信越化学工业株式会社 地址 日本东京都 (72)发明人 荻原勤　 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事 务所(普通合伙) 11277 代理人 刘新宇 (51)Int.Cl. G03F 7/16 (2006.01) 权利要求书2页 说明书15页 附图6页 (54)发明名称 平坦度控制方法及装置、涂膜的形成方法及 装置 (57)摘要 本发明提供一种平坦度控制方法及装置、涂 膜的形成方法及装置。本发明的平坦度控制方 法，用于晶圆的平坦度控制，其包含以下步骤：准 备具有包含多个区段的固持面，且该多个区段各 自具备干式粘接性纤维构造物的固持构件的步 骤；使晶圆吸附于该固持构件的该固持面，而使 该晶圆固持于该固持构件的步骤；测量该晶圆的 平坦度，而取得该晶圆的平坦度的信息的步骤； 及基于该平坦度的信息，而在该固持构件的该固 持面的该多个区段的一部分中，释放该干式粘接 性纤维构造物对该晶圆所进行的吸附的步骤。 A 1 7 7 2 5 5 3 1 1 N C CN 113552771 A 权　利　要　求　书