掩模版承载机构及掩模版量测机台2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117826546 A (43)申请公布日 2024.04.05 (21)申请号 202410225606.9 (22)申请日 2024.02.28 (71)申请人 无锡迪思微电子有限公司 地址 214135 江苏省无锡市太湖国际科技 园菱湖大道180号-6 申请人 华润微电子控股有限公司 (72)发明人 毛汛　 (74)专利代理机构 华进联合专利商标代理有限 公司 44224 专利代理师 黄旭东 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图7页 (54)发明名称 掩模版承载机构及掩模版量测机台 (57)摘要 本申请涉及一种掩模版承载机构及掩模版 量测机台。掩模版承载机构包括：载台组件；支架 组件，可活动地设于所述载台组件上；多个支撑 件，间隔地设于所述支架组件远离所述载台组件 的一侧；所述多个支撑件的中心连线围成一闭合 图形；以及滑动件，可滑动地设于所述载台组件 上，且与所述支架组件连接；其中，所述滑动件被 配置为：所述滑动件相对所述载台组件移动，并 带动所述支架组件活动，以调节所述闭合图形的 形状。如此，该掩模版承载机构可以适用于不同 尺寸的掩模版，在使用时不需要手动切换载台， 有利于提升掩模版的量测效率。 A 6 4 5 6 2 8 7 1 1 N C CN 117826546 A 权　利　要　求　书