一种薄膜沉积系统和薄膜沉积的前置结构及其吹扫方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116904963 A (43)申请公布日 2023.10.20 (21)申请号 202310921046.6 (22)申请日 2023.07.25 (71)申请人 拓荆科技(上海)有限公司 地址 201306 上海市浦东新区中国 （上海） 自由贸易试验区临港新片区鸿音路 1211号10幢304室 (72)发明人 刘肖朦　陶海龙　张启辉　 (74)专利代理机构 上海专利商标事务所有限公 司 31100 专利代理师 徐伟 (51)Int.Cl. C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图3页 (54)发明名称 一种薄膜沉积系统和薄膜沉积的前置结构 及其吹扫方法 (57)摘要 本发明公开了一种薄膜沉积系统和薄膜沉 积的前置结构及其吹扫方法。前置结构包括：蒸 汽钢瓶 ，其内部装有用以薄膜沉积的前驱体蒸 汽，通过第一通路连接反应腔；压力测试薄膜规 支路，设置于第一通路的支路上，通过压力测试 薄膜规用以监控第一通路内的压力；以及吹扫支 路，一端连接压力测试薄膜规支路，另一端连接 从第一通路上分支出的尾排管路，吹扫支路、第 一通路、压力测试薄膜规支路与尾排管路形成环 状的吹扫回路，从第一通路中通入吹扫气体，吹 扫气体完整地流经吹扫回路，以排出压力测试薄 A 膜规支路内残留的前驱体蒸汽，吹扫支路上包括 3 检测器，用以检测压力测