用于生产电子组件的方法2025
- 申请专利号:CN202280056917.6
- 公开(公告)日:2025-06-13
- 公开(公告)号:CN117859194A
- 申请人:丹佛斯硅动力有限责任公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117859194 A (43)申请公布日 2024.04.09 (21)申请号 202280056917.6 (71)申请人 丹佛斯硅动力有限责任公司 地址 德国弗伦斯堡 (22)申请日 2022.08.18 (72)发明人 霍尔格·乌尔里希 (30)优先权数据 弗兰克·奥斯特瓦尔德 (续) 102021121625.7 2021.08.20 DE (85)PCT国际申请进入国家阶段日 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任 公司 11021 2024.02.20 专利代理师 赵金强 (86)PCT国际申请的申请数据 (51)Int.Cl . PCT/EP2022/073032 2022.08.18 H01L 21/603 (2006.01) (续) (87)PCT国际申请的公布数据 WO2023/021120 EN
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