一种基于等离子体刻蚀和改性作用的金刚石抛光方法2024

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117733662 A (43)申请公布日 2024.03.22 (21)申请号 202410184040.X (22)申请日 2024.02.19 (71)申请人 南方科技大学 地址 518055 广东省深圳市南山区桃源街 道学苑大道1088号 (72)发明人 邓辉　 肖玉玺　何铨鹏　 (74)专利代理机构 深圳智趣知识产权代理事务 所(普通合伙) 44486 专利代理师 李兴生 (51)Int.Cl. B24B 1/00 (2006.01) B24B 29/02 (2006.01) C01B 32/28 (2017.01) C04B 41/91 (2006.01) 权利要求书1页 说明书9页 附图5页 (54)发明名称 一种基于等离子体刻蚀和改性作用的金刚 石抛光方法 (57)摘要 本发明提供了一种基于等离子体刻蚀和改 性作用的金刚石抛光方法，包括：通过夹具将待 抛光的金刚石置于刚性抛光盘上方；刚性抛光盘 上设置有多个贯通上下的通孔；控制金刚石和刚 性抛光盘以相反方向旋转；使包含氧自由基与羟 基自由基的大气电感耦合等离子体对金刚石进 行加热；当加热到瞬时温度超过表面原子差异化 刻蚀所对应的临界转变温度时，产生原子选择性 刻蚀和改性作用，完成对金刚石的抛光。本发明 在金刚石抛光方法中运用包含高浓度高活性的 氧自由基和羟基自由基的大气电感耦合等离子 A 体，通过结合原子选择性刻蚀去除和羟