一种先进电容纳机电超声换能器芯片单元2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117000570 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202210980241.1 (22)申请日 2022.08.06 (71)申请人 洪波 地址 510250 广东省广州市海珠区昌岗东 路290号1207房 (72)发明人 洪波　 (74)专利代理机构 上海宏京知识产权代理事务 所(普通合伙) 31297 专利代理师 夏梦恬 (51)Int.Cl. B06B 1/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书8页 附图28页 (54)发明名称 一种先进电容纳机电超声换能器芯片单元 (57)摘要 本发明提供一种先进电容纳机电超声换能 器芯片单元，包括第一组成结构和被包围在第一 组成结构内的第二组成结构，所述第一组成结构 和第二组成结构之间形成空腔，所述第一组成结 构包括防撞隔离柱、与所述防撞隔离柱连接的支 撑底和位于所述空腔内的下电极层，所述下电极 层的截面形状为梯形，所述第二组成结构包括设 置在所述防撞隔离柱内侧面的弹簧一圈和与所 述弹簧一圈侧面连接的振膜；本发明的有益效果 为：本发明适用军民两用，本发明中弹簧一圈实 现负斜率控制，拓展振幅与空腔占 比，实现了 58％的空腔利用率 ，且已经超过全球理论极限 A 33％，从而可以突破弹力不足，提高了空腔利用 0 率，截面为梯形的下电极层的斜面能够使得驱动 7 5 0 电压可以更低。 0 0 7 1 1 N C CN 1