一种可精密调节的对准装置及其使用方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115728891 A (43)申请公布日 2023.03.03 (21)申请号 202211477640.2 (22)申请日 2022.11.23 (71)申请人 中国科学院西安光学精密机械研究 所 地址 710119 陕西省西安市高新区新型工 业园信息大道17号 (72)发明人 闫永清　盛立志　强鹏飞　许泽方　 周晓红　 (74)专利代理机构 西安智邦专利商标代理有限 公司 61211 专利代理师 杨引雪 (51)Int.Cl. G02B 7/00 (2021.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 一种可精密调节的对准装置及其使用方法 (57)摘要 本发明涉及一种用于光学精密机械领域的 对准装置，具体涉及一种可精密调节的对准装置 及其使用方法。解决了现有多维调节的复合型结 构对准装置，无法进行中心通光和多维精密调 节，且承重弱和可承载体积较小的技术问题。本 发明对准装置包括支撑组件、载物组件以及精调 组件；支撑组件包括多根导向轴和多根顶柱；载 物组件包括姿态调节板、位置调节板、待对准物 支撑件和基准物支撑件；姿态调节板套设在多根 导向轴上；待对准物支撑件设置在位置调节板 上；精调组件包括多个位置调节微分头和多个姿 态调节微分头；多个姿态调节微分头设置在姿态 A 调节板上，用于减小姿态偏差，多个位置调节微 1 分头设置在位置调节板侧壁上，用于减小位置偏