一种用于碳化硅反应板的压合工艺

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115416358 A (43)申请公布日 2022.12.02 (21)申请号 202211018849.2 (22)申请日 2022.08.24 (71)申请人 山东英乐威装备科技有限公司 地址 276000 山东省临沂市经济开发区朝 阳街道6号 (72)发明人 赵玉龙　黄冲　 (74)专利代理机构 临沂同其万疆知识产权代理 事务所(普通合伙) 37374 专利代理师 王爱国 (51)Int.Cl. B30B 15/02 (2006.01) B30B 15/06 (2006.01) B30B 15/16 (2006.01) B30B 15/22 (2006.01) B30B 15/34 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种用于碳化硅反应板的压合工艺 (57)摘要 本发明公开了一种用于碳化硅反应板的压 合工艺，将待扩散焊的产品表面进行打磨、平整， 平整度至0.05mm以内，粗糙度为Ra0.8‑Ra1.0,将 上一步骤所得产品进行组合并按照指定顺序叠 放整齐，得到组合件,对上一步骤所得组合件，根 据组合件的尺寸、外形使用高强度石墨制作热压 模具，将组合件在其中卡住，该模具的作用是限 制组合件的热压过程中可能产生的移位和变形， 同时利用石墨的优良导热性将温度均匀传递到 组合件上,本发明实现了减少碳化硅板片在加压 过程中产