MEMS传感器以及提供和运行MEMS传感器的方法2023

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 109319727 A (43)申请公布日 2019.02.12 (21)申请号 201810865573.9 (22)申请日 2018.08.01 (30)优先权数据 102017213277.9 2017.08.01 DE (71)申请人 英飞凌科技股份有限公司 地址 德国诺伊比贝尔格 (72)发明人 A 德厄　M 菲尔德纳　 · · A 韦斯鲍尔　 · (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 代理人 郑立柱　张鹏 (51)Int.Cl. B81B 7/02(2006.01) H04R 19/04(2006.01) G01L 9/12(2006.01) 权利要求书3页 说明书13页 附图10页 (54)发明名称 MEMS传感器以及提供和运行MEMS传感器的 方法 (57)摘要 MEMS传感器包括具有可移动电极和定子电 极的MEMS装置，定子电极与可移动电极相对地布 置。MEMS传感器包括连接到定子电极的第一偏置 电压源，第一偏置电压源被配置为将第一偏置电 压施加到定子电极。MEMS传感器还包括通过电容 耦合连接到定子电极的共模读出电路，共模读出 电路包括第二偏置电压源，第二偏