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PCT发明

用于封闭MEMS元件中的进口部的方法

2023-06-16 07:16:28 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN201980085028.0
  • 公开（公告）日：2024-11-22
  • 公开（公告）号：CN113195402A
  • 申请人：罗伯特·博世有限公司
摘要：本发明提供一种用于封闭MEMS元件中的进口部的方法，该方法包括下述步骤：‑提供具有功能区域的功能层，‑借助于在功能层的功能区域之外的第一进口部在功能层的功能区域的下方制造空腔，‑封闭第一进口部，‑在功能层的功能区域之外制造通向空腔的第二进口部，‑熔化在第二进口部的区域中的封闭材料，和‑冷却已熔化的封闭材料，用以封闭第二进口部。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113195402 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 201980085028.0 C ·赫尔梅斯　T ·J ·梅诺尔德　 (22)申请日 2019.12.13 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司 72002 (30)优先权数据 代理人 侯鸣慧 102018222749.7 2018.12.21 DE (51)Int.Cl. (85)PCT国际申请进入国家阶段日 B81C 1/00 (2006.01) 2021.06.21 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2019/085117 2019.12.13 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/126922 DE 2020.06.25 (71)申请人 罗伯特 ·博世有限公司 地址 德国斯图加特 (72)发明人 H ·阿尔特曼　T ·弗里德里希　 M ·阿梅托沃布拉　H ·韦伯　 P ·施莫尔林格鲁贝尔　 权利要求书2页 说明书7页 附图

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